Üretimi oldukça zor, nadir bulunan ve özel kullanım alanlarına sahip, aşağıda örnekleri belirtilen özel gazlar, sipariş odaklı olarak temin dilmektedir. 

SF6; Yüksek ve orta gerilim kesicilerinde, yarı iletken teknolojisinde 

BCl3, BF3; Yarı iletken teknolojisinde

Ne; İyonize partikül araştırmalarında, yüksek hassasiyete sahip infrared dedektörlerin soğutulmasında

Xe; Excimer lazerlerde halojenler ile birlikte, yüksek enerjili partikül fiziği araştırmalarında, plazma ekranlarda